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      產品展示

      產品名稱:光學3D表面輪廓儀
      市場價:元
      產品詳情
      影像系統:1024×1024(2048×2048,2592×1944可選)
      光學Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
      干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
      XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電控
      XY橫向分辨率:≤0.4μm
      Z軸行程:≥100mm
      Z向分辨率:0.1nm
      單次Z向掃描范圍:10.3mm,厚度重復性≤1nm
      Z向掃描速度:≥45μm/s
      可測樣品高度:≥100mm
      可測樣品反射率:0.05%-100%
      水平調整:±5°
      粗糙度RMS重復性:0.005nm
      臺階高測量:準確度<0.7%,重復性<0.1% 1σ
      主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
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